同濟大學(xué)李同保院士團隊扎根納米計量關(guān)鍵技術(shù)二十余年,提出了有別于歐美的、具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的量子化實物基準(zhǔn)的納米計量體系。團隊面向傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)納米計量體系存在的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)溯源鏈長、計量校準(zhǔn)儀器魯棒性弱、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用覆蓋面窄的三方面的難題。揭示了量子化躍遷頻率鎖定的激光冷原子溝道化機制,研制了直接溯源型標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、直接溯源型光柵干涉儀、計量型原子力顯微鏡、晶圓級標(biāo)準(zhǔn)片等。團隊整體技術(shù)成果已達到國際先進水平,其中直接溯源型長度、角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和直接溯源型光柵干涉儀已達到國際領(lǐng)先水平。在集成電路等納米制造行業(yè)和德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)、中國計量測試技術(shù)研究院、中國航空工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所等計量機構(gòu)實現(xiàn)典型應(yīng)用,滿足了國家相關(guān)戰(zhàn)略需求。
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