2019年4月13日，中國計量測試學(xué)會組織有關(guān)專家對華中科技大學(xué)完成的“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關(guān)鍵技術(shù)與納米測量應(yīng)用”科技成果進(jìn)行了鑒定。
天津大學(xué)葉聲華院士、西安交通大學(xué)蔣莊德院士、清華大學(xué)尤政院士、大連理工大學(xué)賈振元教授、中國計量科學(xué)研究院高思田研究員、北京理工大學(xué)趙維謙教授、西北工業(yè)大學(xué)苑偉政教授、上海交通大學(xué)朱利民教授、浙江大學(xué)居冰峰教授作為鑒定委員參加鑒定會。
鑒定會由葉聲華院士主持。鑒定委員會聽取了項目組人員所作的項目工作總結(jié)、技術(shù)研究匯報、查新情況、效益情況等；聽取了測試組組長匯報的測試情況以及用戶介紹的使用情況。同時，進(jìn)行了現(xiàn)場考察。
該項目由華中科技大學(xué)劉世元教授團(tuán)隊和武漢頤光科技有限公司共同完成。項目提出一系列新原理、發(fā)明新技術(shù)、構(gòu)建新模型，并研制出我國第一臺精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀，實(shí)現(xiàn)了成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，形成了系列高端橢偏儀產(chǎn)品。經(jīng)鑒定會全體評審專家認(rèn)真評審，一致認(rèn)為：該成果理論上有重要創(chuàng)新、技術(shù)上有重大突破，整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。其中，基于復(fù)合波片的寬光譜超級消色差偏振相位延遲技術(shù)和基于橢偏散射的納米結(jié)構(gòu)計算測量方法屬國際首創(chuàng)，處于國際領(lǐng)先水平。
該項目打破了長期以來國外企業(yè)對我國高端橢偏儀市場的壟斷，填補(bǔ)了我國在高端橢偏儀領(lǐng)域的空白，自2013年實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化以來，儀器在國內(nèi)外100余家學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)獲得成功應(yīng)用，產(chǎn)生了重要的國內(nèi)外影響，對我國先進(jìn)制造業(yè)產(chǎn)生重大意義。
